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Applications of atomic layer deposition to nanofabrication and emerging nanodevices
Veröffentlicht in Thin solid films
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Selective metal deposition at graphene line defects by atomic layer deposition
Veröffentlicht in Nature communications
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Hydrophobicity of Rare Earth Oxides Grown by Atomic Layer Deposition
Veröffentlicht in Chemistry of materials
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Atomic Layer Deposition Beyond Thin Film Deposition Technology
Veröffentlicht in Advanced materials technologies
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Effects of TaN Diffusion Barrier on Cu-Gate ZnO:N Thin-Film Transistors
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Atomic level deposition to extend Moore's law and beyond
Veröffentlicht in International Journal of Extreme Manufacturing
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Self-Limiting Layer Synthesis of Transition Metal Dichalcogenides
Veröffentlicht in Scientific reports
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