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1
Study on Unusual Pattern Bridge and Its Mechanism
von
Lee, Gensu
,
Hong, Kigak
,
Park, Hyunyul
,
Kim, Hyungdo
,
Choi, Anho
,
Kim, Jonghyeop
,
Moon, Seungchan
,
Park, Sungki
Veröffentlicht in
Journal of Photopolymer Science and Technology
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2
Material Issues in Real Device Application of Multi-function Hard Mask Process
von
Lee, Kilyoung
,
Lee, Gensu
,
Kim, Samyoung
,
Lee, Sungkwon
,
Cho, Junhee
,
Kim, Wonkyu
,
Bok, Choelkyu
,
Moon, Seungchan
,
Kim, Jinwoong
Veröffentlicht in
Journal of photopolymer science and technology
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Artikel
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Innovative Process and Material for sub-80nm Lithography (M+ Process)
von
Lee, Gensu
,
Jung, Jaechang
,
Lee, Sungkwon
,
Lee, Sungkoo
,
Kim, Taekwan
,
Park, Jungwoo
,
Bok, Cheolkyu
,
Moon, Sungchan
,
Kim, Jinwoong
Veröffentlicht in
Journal of Photopolymer Science and Technology
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4
Material lssues in Rea1 Device Application of Multi-function Hard Mask Process
von
Lee, Kilyoung
,
Lee, Gensu
,
Kim, Samyoung
,
Lee, Sungkwon
,
Cho, Junhee
,
Kim, Wonkyu
,
Bok, Choelkyu
,
Moon, Seungchan
,
Kim, Jinwoong
Veröffentlicht in
Journal of Photopolymer Science and Technology
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