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    Pyroelectric and Ferroelectric Properties of Hafnium Oxide Doped with Si via Plasma Enhanced ALD

    Pyroelectric and Ferroelectric Properties of Hafnium Oxide Doped with Si via Plasma Enhanced ALD von Neuber, Markus, Lederer, Maximilian Walter, Mertens, Konstantin, Kämpfe, Thomas, Czernohorsky, Malte, Seidel, Konrad

    Veröffentlicht in Crystals (Basel)

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