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Evolution and Current Status of Aluminum Metallization
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Growth of borosilicate and borophosphosilicate films at low pressure and temperature
Veröffentlicht in Thin solid films
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Electromigration effects in aluminum alloy metallization
Veröffentlicht in Journal of electronic materials
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Effect of Redundant Microstructure on Electromigration-Induced Failure
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Aluminum alloy film deposition and characterization
Veröffentlicht in Thin solid films
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