Modélisation de la gravure profonde du silicium en plasmas fluorés : étude du procédé BOSCH : simulations et calibration expérimentale von Le Dain, Guillaume

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Surface composition and micromasking effect during the etching of amorphous Ge-Sb-Se thin films in SF6 and SF6/Ar plasmas von Meyer, T., Girard, A., Le Dain, G., Rhallabi, A., Baudet, E., Nazabal, V., Němec, P., Cardinaud, C.

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Modeling of C4F8 inductively coupled plasmas: effects of high RF power on the plasma electrical properties von Le Dain, Guillaume, Rhallabi, Ahmed, Girard, Aurélie, Cardinaud, Christophe, Roqueta, Fabrice, Boufnichel, Mohamed

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Modeling of C 4 F 8 inductively coupled plasmas: effects of high RF power on the plasma electrical properties von Le Dain, Guillaume, Rhallabi, Ahmed, Girard, Aurélie, Cardinaud, Christophe, Roqueta, Fabrice, Boufnichel, Mohamed

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Multiscale approach for simulation of silicon etching using SF6/C4F8 Bosch process von Le Dain, Guillaume, Rhallabi, Ahmed, Fernandez, Marie Claude, Boufnichel, Mohamed, Roqueta, Fabrice

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Etching of iron and iron–chromium alloys using ICP-RIE chlorine plasma von Le Dain, Guillaume, Laourine, Feriel, Guilet, Stéphane, Czerwiec, Thierry, Marcos, Grégory, Noel, Cédric, Henrion, Gérard, Cardinaud, Christophe, Girard, Aurélie, Rhallabi, Ahmed

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Multiscale approach for simulation of silicon etching using SF 6 /C 4 F 8 Bosch process von Le Dain, Guillaume, Rhallabi, Ahmed, Fernandez, Marie Claude, Boufnichel, Mohamed, Roqueta, Fabrice

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Modeling of silicon etching using Bosch process: Effects of oxygen addition on the plasma and surface properties von Le Dain, Guillaume, Rhallabi, Ahmed, Cardinaud, Christophe, Girard, Aurélie, Fernandez, Marie-Claude, Boufnichel, Mohamed, Roqueta, Fabrice

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Trajectoires et carrières contemporaines : nouvelles perspectives méthodologiques: XXVIIèmes journées du longitudinal, Grenoble, 23-24 juin 2022

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LETTRES MISSIVES: DES XVeET XVIeSIÈCLES CONSERVÉES AUX ARCHIVES MUNICIPALES DE LA VILLE DE TROYES von Stein, Henri, Richer, de Laval, Loys, Cosinot, Guillaume, le Dain, O., D'Amboize, Tiercelin, Jacques, De San Viuville, Baudricourt, CHARLES, Parent, Bohier, Robertet, D'Alebret, Le Roi, J., Burdelot, Jehan, Spifame, Bourdin, Gilles, N., Le Roy, Ja, Gamont, Peguineau, Robertet, Florimond, FRANÇOYS, De Neufville, Gedoyn, Dorne, Breton, Bochetel

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