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    Capacitive MEMS component with buried transmission line

    Capacitive MEMS component with buried transmission line von Bansropun, Shailendra, Ziaei, Afshin, Martins, Paolo, Le Bailiff, Matthieu

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    Capacitive MEMS component with buried transmission line

    Capacitive MEMS component with buried transmission line von ZIAEI, AFSHIN, BANSROPUN, SHAILENDRA, LE BAILIFF, MATTHIEU, MARTINS, PAOLO

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