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Methods to control film removal rates for improved polishing in metal CMP
von
Sachan, Vikas
,
Burke, Peter A
,
Langlois, Elizabeth A. (Kegerise)
,
Pierce, Keith G
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Methods to control film removal rates for improved polishing in metal CMP
von
SACHAN VIKAS
,
PIERCE KEITH G
,
BURKE PETER A
,
LANGLOIS ELIZABETH A. (KEGERISE)
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Patent
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3
Composition and method for polishing in metal CMP
von
LANE SARAH
,
SACHAN VIKAS
,
YE QIANQIU (CHRISTINE)
,
THOMAS TERENCE M
,
GETTMAN DAVID
,
PIERCE KEITH G
,
LANGLOIS ELIZABETH A. (KEGERISE)
,
LACK CRAIG D
,
BURKE PETER A
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Patent
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Composition and method for polishing in metal CMP
von
Sachan, Vikas
,
Langlois, Elizabeth A. (Kegerise)
,
Ye, Qianqiu (Christine)
,
Pierce, Keith G
,
Lack, Craig D
,
Thomas, Terence M
,
Burke, Peter A
,
Gettman, David
,
Lane, Sarah
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Composition and method for polishing in metal CMP
von
LANE SARAH
,
SACHAN VIKAS
,
YE QIANQIU (CHRISTINE)
,
THOMAS TERENCE M
,
GETTMAN DAVID
,
PIERCE KEITH G
,
LANGLOIS ELIZABETH A. (KEGERISE)
,
LACK CRAIG D
,
BURKE PETER A
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6
Composition and method for polishing in metal CMP
von
Sachan, Vikas
,
Langlois, Elizabeth A. (Kegerise)
,
Ye, Qianqiu (Christine)
,
Pierce, Keith G
,
Lack, Craig D
,
Thomas, Terence M
,
Burke, Peter A
,
Gettman, David
,
Lane, Sarah
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Composition and method for polishing in metal CMP
von
LANE SARAH
,
SACHAN VIKAS
,
YE QIANQIU (CHRISTINE)
,
THOMAS TERENCE M
,
GETTMAN DAVID
,
PIERCE KEITH G
,
LANGLOIS ELIZABETH A. (KEGERISE)
,
LACK CRAIG D
,
BURKE PETER A
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LANE SARAH
,
SACHAN VIKAS
,
YE QIANQIU (CHRISTINE)
,
THOMAS TERENCE M
,
GETTMAN DAVID
,
PIERCE KEITH G
,
LANGLOIS ELIZABETH A. (KEGERISE)
,
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,
BURKE PETER A
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Esp@Cenet
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