Suchergebnisse - Langheinrich, Wolfram

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200 mm Wafer Level Characterization at 2 K of Si/SiGe Field-Effect Transistors von Komericki, Nikola David, Muster, Pascal, Reichmann, Felix, Huckemann, Till, Kaufmann, Daniel, Yamamoto, Yuji, Lisker, Marco, Langheinrich, Wolfram, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik, Quay, Ruediger

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Fabrication of metallic structures in the 10 nm region using an inorganic electron beam resist von LANGHEINRICH, W, BENEKING, H

Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics

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Fabrication of lateral tunnel junctions and measurement of coulomb blockade effects von LANGHEINRICH, W, AHMED, H

Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics

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Quantum conveyor and methods of producing a quantum conveyor von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

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Quantum Conveyor and Methods of Producing a Quantum Conveyor von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

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200 mm Wafer Level Characterization at 2 K of Si/SiGe Field-Effect Transistors von Komericki, Nikola David, Muster, Pascal, Reichmann, Felix, Huckemann, Till, Kaufmann, Daniel, Yamamoto, Yuji, Lisker, Marco, Langheinrich, Wolfram, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik, Quay, Ruediger

Veröffentlicht in Meeting abstracts (Electrochemical Society)

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7

Industrially fabricated single-electron quantum dots in Si/Si-Ge heterostructures von Huckemann, Till, Muster, Pascal, Langheinrich, Wolfram, Brackmann, Varvara, Friedrich, Michael, Komerički, Nikola D, Diebel, Laura K, Stieß, Verena, Bougeard, Dominique, Dahl, Claus, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik

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8

Segmented stress decoupling via frontside trenching von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

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Quantum conveyor belt and method for manufacturing quantum conveyor belt von LANGHEINRICH WOLFRAM, DAHL CHRISTIAN

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10

Quantenförderband und Verfahren zum Herstellen eines Quantenförderbands von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

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11

SEGMENTED STRESS DECOUPLING VIA FRONTSIDE TRENCHING von LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, BRANDL, Florian

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Segmented stress decoupling via frontside trenching von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

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SEGMENTED STRESS DECOUPLING VIA FRONTSIDE TRENCHING von LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, BRANDL, Florian

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14

SEGMENTIERTE SPANNUNGSENTKOPPLUNG ÜBER VORDERSEITIGE GRABENBILDUNG von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

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15

The influence of the substrate on proximity effect and exposure dose for the inorganic resist LiF(AlF 3) von Langheinrich, Wolfram

Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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Industrially fabricated single-electron quantum dots in Si/Si-Ge heterostructures von Huckemann, Till, Muster, Pascal, Langheinrich, Wolfram, Brackmann, Varvara, Friedrich, Michael, Komerički, Nikola D, Diebel, Laura K, Stieß, Verena, Bougeard, Dominique, Dahl, Claus, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik

Veröffentlicht in arXiv.org

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Mechanical stress decoupling for microelectromechanical systems (MEMS) elements with gel-filling von Luber, Sebastian, Gruenberger, Robert, Winkler, Bernhard, Langheinrich, Wolfram, Meinhold, Dirk, Brandl, Florian, Meier, Roland

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18

MECHANICAL STRESS DECOUPLING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ELEMENTS WITH GEL-FILLING von MEINHOLD, Dirk, WINKLER, Bernhard, LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, LUBER, Sebastian, MEIER, Roland, BRANDL, Florian

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19

Stressed decoupled micro-electro-mechanical system sensor von Knott, Bernhard, Stegemann, Maik, Kautzsch, Thoralf, Theuss, Horst, Froehlich, Heiko, Langheinrich, Wolfram, Vogt, Mirko, Bieselt, Steffen, Haubold, Marco, Roeth, Andre

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20

Nanostructure fabrication by electron beam lithography on insulating substrates using a novel four-layer resist von Langheinrich, Wolfram, Beneking, Heinz

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200 mm Wafer Level Characterization at 2 K of Si/SiGe Field-Effect Transistors von Komericki, Nikola David, Muster, Pascal, Reichmann, Felix, Huckemann, Till, Kaufmann, Daniel, Yamamoto, Yuji, Lisker, Marco, Langheinrich, Wolfram, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik, Quay, Ruediger

Fabrication of metallic structures in the 10 nm region using an inorganic electron beam resist von LANGHEINRICH, W, BENEKING, H

Fabrication of lateral tunnel junctions and measurement of coulomb blockade effects von LANGHEINRICH, W, AHMED, H

Quantum conveyor and methods of producing a quantum conveyor von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

Quantum Conveyor and Methods of Producing a Quantum Conveyor von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

200 mm Wafer Level Characterization at 2 K of Si/SiGe Field-Effect Transistors von Komericki, Nikola David, Muster, Pascal, Reichmann, Felix, Huckemann, Till, Kaufmann, Daniel, Yamamoto, Yuji, Lisker, Marco, Langheinrich, Wolfram, Schreiber, Lars R, Bluhm, Hendrik, Quay, Ruediger

Segmented stress decoupling via frontside trenching von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

Quantum conveyor belt and method for manufacturing quantum conveyor belt von LANGHEINRICH WOLFRAM, DAHL CHRISTIAN

Quantenförderband und Verfahren zum Herstellen eines Quantenförderbands von Dahl, Claus, Langheinrich, Wolfram

SEGMENTED STRESS DECOUPLING VIA FRONTSIDE TRENCHING von LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, BRANDL, Florian

Segmented stress decoupling via frontside trenching von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

SEGMENTED STRESS DECOUPLING VIA FRONTSIDE TRENCHING von LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, BRANDL, Florian

SEGMENTIERTE SPANNUNGSENTKOPPLUNG ÜBER VORDERSEITIGE GRABENBILDUNG von Gruenberger, Robert, Langheinrich, Wolfram, Brandl, Florian

The influence of the substrate on proximity effect and exposure dose for the inorganic resist LiF(AlF 3) von Langheinrich, Wolfram

Mechanical stress decoupling for microelectromechanical systems (MEMS) elements with gel-filling von Luber, Sebastian, Gruenberger, Robert, Winkler, Bernhard, Langheinrich, Wolfram, Meinhold, Dirk, Brandl, Florian, Meier, Roland

MECHANICAL STRESS DECOUPLING FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) ELEMENTS WITH GEL-FILLING von MEINHOLD, Dirk, WINKLER, Bernhard, LANGHEINRICH, Wolfram, GRUENBERGER, Robert, LUBER, Sebastian, MEIER, Roland, BRANDL, Florian

Stressed decoupled micro-electro-mechanical system sensor von Knott, Bernhard, Stegemann, Maik, Kautzsch, Thoralf, Theuss, Horst, Froehlich, Heiko, Langheinrich, Wolfram, Vogt, Mirko, Bieselt, Steffen, Haubold, Marco, Roeth, Andre

Nanostructure fabrication by electron beam lithography on insulating substrates using a novel four-layer resist von Langheinrich, Wolfram, Beneking, Heinz

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