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Low-Energy Electron-Induced Decomposition and Reactions of Adsorbed Tetrakis(trifluorophosphine)platinum [Pt(PF3)4]
von
Landheer, Kees
,
Rosenberg, Samantha G
,
Bernau, Laurent
,
Swiderek, Petra
,
Utke, Ivo
,
Hagen, Cornelis W
,
Fairbrother, D. Howard
Veröffentlicht in
Journal of physical chemistry. C
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2
Substrate temperature and electron fluence effects on metallic films created by electron beam induced deposition
von
Rosenberg, Samantha G.
,
Landheer, Kees
,
Hagen, Cornelis W.
,
Fairbrother, D. Howard
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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3
Ion bombardment measurements and simulations of a low temperature VHF PECVD SiH 4 –H 2 discharge in the a‐Si:H to μc‐Si:H transition regime
von
Landheer, Kees
,
Goedheer, Wim J.
,
Poulios, Ioannis
,
Schropp, Ruud E. I.
,
Rath, Jatindra K.
Veröffentlicht in
Physica status solidi. A, Applications and materials science
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4
Ion bombardment measurements and simulations of a low temperature VHF PECVD SiH sub(4)-H sub(2) discharge in the a-Si:H to mu c-Si:H transition regime
von
Landheer, Kees
,
Goedheer, Wim J
,
Poulios, Ioannis
,
Schropp, Ruud EI
,
Rath, Jatindra K
Veröffentlicht in
Physica status solidi. A, Applications and materials science
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5
Ion bombardment measurements and simulations of a low temperature VHF PECVD SiH4-H2 discharge in the a-Si:H to µc-Si:H transition regime
von
Landheer, Kees
,
Goedheer, Wim J
,
Poulios, Ioannis
,
Schropp, Ruud E I
,
Rath, Jatindra K
Veröffentlicht in
Physica status solidi. A, Applications and materials science
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6
Decoupling high surface recombination velocity and epitaxial growth for silicon passivation layers on crystalline silicon
von
Landheer, Kees
,
Kaiser, Monja
,
Verheijen, Marcel A
,
Tichelaar, Frans D
,
Poulios, Ioannis
,
Schropp, Ruud E I
,
Rath, Jatin K
Veröffentlicht in
Journal of physics. D, Applied physics
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7
Recombination reduction at the c-Si/RCA oxide interface through Ar-H2 plasma treatment
von
Landheer, Kees
,
Bronsveld, Paula C.P.
,
Poulios, Ioannis
,
Tichelaar, Frans D.
,
Kaiser, Monja
,
Schropp, Ruud E.I.
,
Rath, Jatin K.
Veröffentlicht in
Applied surface science
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8
Ion bombardment measurements and simulations of a low temperature VHF PECVD SiH4-H2 discharge in the a-Si:H to μc-Si:H transition regime
von
Landheer, Kees
,
Goedheer, Wim J.
,
Poulios, Ioannis
,
Schropp, Ruud E. I.
,
Rath, Jatindra K.
Veröffentlicht in
Physica status solidi. A, Applications and materials science
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9
Comparison of batch and in-line PECVD of a-Si:H passivation layers for silicon heterojunction solar cells
von
Landheer, Kees
,
Kaiser, Monja
,
Poulios, Ioannis
,
Dörenkämper, Maarten
,
Soppe, Wim J.
,
Schropp, Ruud E. I.
,
Rath, Jatin K.
Veröffentlicht in
Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters
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10
Forum der Letteren. Jaargang 1995
von
[tijdschrift] Forum der Letteren
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Forum der Letteren. Jaargang 1994
von
[tijdschrift] Forum der Letteren
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Journal Of Physics. D, Applied Physics
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Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Cc Vhf Pecvd
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Aip Journals Complete
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Elsevier Sciencedirect Journals Complete
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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