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Kinetic and gas-phase study of the chemical vapor deposition of silicon carbide from C2H3SiCl3/H2
von
Desenfant, A.
,
Laduye, G.
,
Vignoles, G.L.
,
Chollon, G.
Veröffentlicht in
Journal of industrial and engineering chemistry (Seoul, Korea)
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Structure, microstructure and disorder in low temperature chemical vapor deposited SiC coatings
von
Plaisantin, H.
,
Danet, J.
,
Berdoyes, I.
,
Laduye, G.
,
Desenfant, A.
,
Chollon, G.
Veröffentlicht in
Journal of the European Ceramic Society
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