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MEMS DEVICES ON FLEXIBLE SUBSTRATE
von
BERGERON, Phillip J
,
LUNCEFORD, Brent D
,
GEISSINGER, John D
,
FOO, Siang Sin
,
MOONEY, Justine A
,
PALANISWAMY, Ravi
,
GUNDEL, Douglas B
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MEMS MEMS DEVICES ON FLEXIBLE SUBSTRATE
von
BERGERON PHILLIP J
,
MOONEY JUSTINE A
,
GEISSINGER JOHN D
,
GUNDEL DOUGLAS B
,
PALANISWAMY RAVI
,
FOO SIANG SIN
,
LUNCEFORD BRENT D
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MEMS devices on flexible substrate
von
BERGERON PHILLIP J
,
MOONEY JUSTINE A
,
GEISSINGER JOHN D
,
GUNDEL DOUGLAS B
,
PALANISWAMY RAVI
,
FOO SIANG SIN
,
LUNCEFORD BRENT D
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Conductive etch stop for etching a sacrificial layer
von
BEACH GREGORY
,
HUNTER JAMES A
,
LUNCEFORD BRENT D
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Diffractive light modulator
von
DUEWEKE MICHAEL J
,
AMM DAVID T
,
DE GROOT WILHELMUS
,
HUNTER JAMES A
,
BEACH GREGORY
,
PAYNE ALEXANDER P
,
LEUNG OMAR S
,
LUNCEFORD BRENT D
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6
Diffractive light modulator
von
Payne, Alexander P
,
Dueweke, Michael J
,
De Groot, Wilhelmus
,
Amm, David T
,
Leung, Omar S
,
Hunter, James A
,
Lunceford, Brent D
,
Beach, Gregory
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