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Development and fabrication of magnetic thin films
Veröffentlicht in Microsystem technologies
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The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Veröffentlicht in Microsystem technologies
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Improved tungsten absorber technology for sub-half-micron x-ray lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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