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    Shielding ring alignment for substrate support

    Shielding ring alignment for substrate support von GULABAL, VINAYAKARADI, VELANKI, RAVI, LID GARY B, IBB ANDREW PAUL

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    Conduction cooling of cryogenic susceptors operating in high temperature deposition sequences

    Conduction cooling of cryogenic susceptors operating in high temperature deposition sequences von CLEVENGER JEFF, GULABAL, VINAYAKARADI, VELANKI, RAVI, LID GARY B

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    Patent

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    Base polishing device

    Base polishing device von GULABAL, VINAYAKARADI, WONG EDDY TZE SHIN, MANJUNATH, MAHENDRA, BAYLAPRA, GUNDI, SUSANTH, LID GARY B, JALAMATI VISHNU SAI, MCKINNEY ROBERT, IBB ANDREW PAUL

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    Patent

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