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    POSITIONING DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR COMPENSATING A BALANCE MASS TORQUE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

    POSITIONING DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR COMPENSATING A BALANCE MASS TORQUE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD von VAN DUIJNHOVEN MARTINUS, WIJCKMANS MAURICE W J E, LEENAARS RENE WILHELMUS ANTONIUS HUBERTUS, BUTLER HANS, LIBOUREL STEPHAN C Q, BRAAKSMA DAVE, SIMONS WILHELMUS F J, COX HENDRIKUS H M

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