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SF6 usage and emission trends in the TFT-LCD industry
Veröffentlicht in International journal of greenhouse gas control
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Influence of Nonthermal Plasma Reactor Type on CF4 and SF6 Abatements
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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Metal Loaded Zeolite Adsorbents for Phosphine Removal
Veröffentlicht in Industrial & engineering chemistry research
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Dispersion of gas pollutant in a fan-filter-unit (FFU) cleanroom
Veröffentlicht in Building and environment
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Case Study of Micro-Contamination Control
Veröffentlicht in Aerosol and Air Quality Research
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