Treffer 1 - 20 von 231 für Suche 'LEVINSON HARRY J', Suchdauer: 0,73s Treffer weiter einschränken
  1. 1
    High-NA EUV lithography: current status and outlook for the future

    High-NA EUV lithography: current status and outlook for the future von Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  2. 2
    Lithography in a quantum world

    Lithography in a quantum world von Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  3. 3
    How Lithography and Metrology Are Enabling Yield in the Next Generation of Semiconductor Patterning

    How Lithography and Metrology Are Enabling Yield in the Next Generation of Semiconductor Patterning von Neisser, Mark, Orji, Ndubuisi G., Levinson, Harry J., Celano, Umberto, Moyne, James, Mashiro, Supika, Wilcox, Dan, Libman, Slava

    Veröffentlicht in Computer (Long Beach, Calif.)

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  4. 4
    Lithography --- Green and Getting Greener

    Lithography --- Green and Getting Greener von Levinson, Harry J


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  5. 5
    Lithography Process Control

    Lithography Process Control von Levinson, Harry J

    Volltext
    Buch

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  6. 6
    A Study of Photoresist Pattern Freezing for Double Imaging using 172nm VUV Flood Exposure

    A Study of Photoresist Pattern Freezing for Double Imaging using 172nm VUV Flood Exposure von Yamaguchi, Masanori, Wallow, Thomas, Yamada, Yohei, Kim, Ryoung-Han, Kye, Jongwook, Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  7. 7
    Extreme ultraviolet lithography: From research to manufacturing

    Extreme ultraviolet lithography: From research to manufacturing von La Fontaine, Bruno, Deng, Yunfei, Kim, Ryoung-han, Levinson, Harry J., Okoroanyanwu, Uzodinma, Sandberg, Richard, Wallow, Tom, Wood, Obert


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  8. 8
    Lithography – Green and Getting Greener

    Lithography – Green and Getting Greener von Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  9. 9
    Application of contrast enhancement layer to 193 nm lithography

    Application of contrast enhancement layer to 193 nm lithography von Kim, Ryoung-han, Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  10. 10
    Wafer level critical dimension control in spacer-defined double patterning for sub-72 nm pitch logic technology

    Wafer level critical dimension control in spacer-defined double patterning for sub-72 nm pitch logic technology von Kim, Ryoung-han, Watso, Robert, van Dommelen, Youri, Finders, Jo, Colburn, Matthew E., Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  11. 11
    Effects on Photoemission of the Spatially Varying Photon Field at a Metal Surface

    Effects on Photoemission of the Spatially Varying Photon Field at a Metal Surface von Levinson, Harry J., Plummer, E. W., Feibelman, Peter J.

    Veröffentlicht in Physical review letters

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  12. 12
    Application of contrast enhancement layer to 193nm lithography

    Application of contrast enhancement layer to 193nm lithography von Kim, Ryoung-han, Levinson, Harry J.


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  13. 13
    Yield

    Yield von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  14. 14
    Sampling

    Sampling von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  15. 15
    Metrology

    Metrology von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  16. 16
    Introduction to the Use of Statistical Process Control in Lithography

    Introduction to the Use of Statistical Process Control in Lithography von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  17. 17
    Process Drift and Automatic Process Control

    Process Drift and Automatic Process Control von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  18. 18
    Simple and Complex Processes

    Simple and Complex Processes von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  19. 19
    Overlay

    Overlay von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  20. 20
    Linewidth Control

    Linewidth Control von Levinson Harry J

    Volltext
    Buchkapitel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:

Suchwerkzeuge: