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Robust Pop-Up Shape Encapsulation Using Dual-Sealing
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
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Nano Porous Gold as a Capping Layer for Thin Film Encapsulation
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Effect of excess PbO on microstructure and orientation of PZT(60/40) films
Veröffentlicht in Journal of electroceramics
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