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Femtosecond laser micromilling of Si wafers
Veröffentlicht in Applied surface science
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Femtosecond laser patterning of Ta0.1W0.9Ox/ITO thin film stack
Veröffentlicht in Applied surface science
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Femtosecond Laser Drilling of Alumina Wafers
Veröffentlicht in Journal of electronic materials
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Ablative Laser Patterning of Polymeric Dielectric Materials
Veröffentlicht in International Symposium on Microelectronics
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