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Mechanisms of Pb(zr 0.53 Ti 0.47 )O 3 thin film etching with ECR/RF reactor
Veröffentlicht in Integrated ferroelectrics
VolltextArtikel -
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Etching of platinum thin films with dual frequency ECR/RF reactor
Veröffentlicht in Integrated ferroelectrics
VolltextArtikel -
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Mechanisms of Pb(zr0.53Ti0.47)O3 thin film etching with ECR/RF reactor
Veröffentlicht in Integrated ferroelectrics
VolltextArtikel -
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