μ-Biomimetic flow-sensors--introducing light-guiding PDMS structures into MEMS von Herzog, Hendrik, Klein, Adrian, Bleckmann, Horst, Holik, Peter, Schmitz, Sam, Siebke, Georg, Tätzner, Simon, Lacher, Manfred, Steltenkamp, Siegfried

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A model for μ-biomimetic thermal infrared sensors based on the infrared receptors of Melanophila acuminata von Siebke, Georg, Holik, Peter, Schmitz, Sam, Schmitz, Helmut, Lacher, Manfred, Steltenkamp, Siegfried

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biomimetic flow-sensors-introducing light-guiding PDMS structures into MEMS von Herzog, Hendrik, Klein, Adrian, Bleckmann, Horst, Holik, Peter, Schmitz, Sam, Siebke, Georg, Tätzner, Simon, Lacher, Manfred, Steltenkamp, Siegfried

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Electrostatically operated micromirrors for Hadamard transform spectrometer von Diehl, T., Ehrfeld, W., Lacher, M., Zetterer, T.

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Practical aspects of Boersch phase contrast electron microscopy of biological specimens von Walter, Andreas, Muzik, Heiko, Vieker, Henning, Turchanin, Andrey, Beyer, André, Gölzhäuser, Armin, Lacher, Manfred, Steltenkamp, Siegfried, Schmitz, Sam, Holik, Peter, Kühlbrandt, Werner, Rhinow, Daniel

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A label-free affinity sensor with compensation of unspecific protein interaction by a highly sensitive integrated optical Mach–Zehnder interferometer on silicon von Brosinger, Franz, Freimuth, Herbert, Lacher, Manfred, Ehrfeld, Wolfgang, Gedig, Erk, Katerkamp, Andreas, Spener, Friedrich, Cammann, Karl

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Microfabrication of new sensors for scanning probe microscopy von Noell, Wilfried, Abraham, Michael, Ehrfeld, W, Lacher, Manfred, Mayr, Karsten

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Micromachined aperture probe tip for multifunctional scanning probe microscopy von Abraham, Michael, Ehrfeld, W, Lacher, Manfred, Mayr, Karsten, Wilfried Noell, Güthner, Peter, Barenz, J

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Ni, In and Sb implanted Pt and V catalysed thin-film SnO 2 gas sensors von Sulz, Gerd, Kühner, Gerd, Reiter, Helmut, Uptmoor, Gabi, Schweizer, Werner, Löw, Helga, Lacher, Manfred, Steiner, Klaus

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Thin-film In-doped V-catalysed SnO 2 gas sensors von Löw, Helga, Sulz, Gerd, Lacher, Manfred, Kühner, Gerd, Uptmoor, Gabi, Reiter, Helmut, Steiner, Klaus

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Thin-film in-doped V-catalysed SnO sub(2) gas sensors von Low, Helga, Sulz, Gerd, Lacher, Manfred, Kuhner, Gerd, Uptmoor, Gabi, Reiter, Helmut, Steiner, Klaus

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Formation of Complex Ceramic Miniaturized Structures by Pyrolysis of Poly(vinylsilazane) von Freimuth, Herbert, Hessel, Volker, Kölle, Harald, Lacher, Manfred, Ehrfeld, Wolfgang, Vaahs, Tilo, Brück, Martin

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Ni, In and Sb implanted Pt and V catalysed thin-film SnO2 gas sensors von SULZ, G, KÜHNER, G, REITER, H, UPTMOOR, G, SCHWEIZER, W, LÖW, H, LACHER, M, STEINER, K

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Thin-film in-doped V-catalysed SnO2 gas sensors von LÖW, H, SULZ, G, LACHER, M, KÜHNER, G, UPTMOOR, G, REITER, H, STEINER, K

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Verfahren zum Erzeugen einer freistehenden, abgeschirmten Metallelektrode durch einen Einzelmaskenprozess und ein Verfahren zum Freilegen einer Elektrodenspitze von Schulz, Kathrin, Lacher, Manfred, Steltenkamp, Siegfried, Schmitz, Sam, Peter, Holik

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FLACHSPULE UND LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROBAUTEILEN von SCHMITZ, FELIX, NIENHAUS, MATTHIAS, LACHER, MANFRED

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FLAT COIL AND LITHOGRAPHIC METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS von SCHMITZ, FELIX, NIENHAUS, MATTHIAS, LACHER, MANFRED

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Flat coil and lithographic method for producing microcomponents von Schmitz, Felix, Nienhaus, Matthias, Lacher, Manfred

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Flat coil and lithographic method for producing microcomponents von NIENHAUS MATTHIAS, SCHMITZ FELIX, LACHER MANFRED

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Verfahren zum Erzeugen einer freistehenden Metallelektrode durch einen Einzelmaskenprozess von PETER, HOLIK, GERNGROSS, KATHRIN, SCHMITZ, SAM, STELTENKAMP, SIEGFRIED, LACHER, MANFRED

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