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    基底旋转速度对射频溅射法制备Al掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响

    基底旋转速度对射频溅射法制备Al掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响 von E.A.MARTíN-TOVAR, L.G.DAZA, A. J.R.LóPEZ-ARREGUíN, A. IRIBARREN, R. CASTRO-RODRIGUEZ


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