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The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Veröffentlicht in Microsystem technologies
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Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Veröffentlicht in Tribotest
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Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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The influence of the target material on sputter etching processes
Veröffentlicht in Thin solid films
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Stability of SiC-masks for high resolution synchrotron X-ray lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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