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고밀도 C 4 F 8 플라즈마에서 증착된 불화탄소막의 광학적 및 전기적 특성
von
권혁규
,
Hyeokkyu Kwon
,
유상현
,
Sanghyun You
,
김준현
,
Jun-hyun Kim
,
김창구
,
Chang-koo Kim
Veröffentlicht in
Korean chemical engineering research
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2
Comparison of deep silicon etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 plasmas in the Bosch process
von
Rhee, Hyongmoo
,
Kwon, Hyeokkyu
,
Kim, Chang-Koo
,
Kim, HyunJung
,
Yoo, Jaisuk
,
Kim, Yil Wook
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
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Electroless Deposition of CoWP Capping Layers Using Alkali-Metal-Free Chemicals
von
Lee, Hae-Min
,
Kwon, Hyeokkyu
,
Dulal, S. M. Shahinoor I.
,
Kim, Chang-Koo
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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Control of the Electrical and Optical Properties of Plasma Polymerized Fluorocarbon Films
von
Kwon, Hyeokkyu
,
Mahapatra, Santosh
,
Park, Byunghoon
,
Woo, Sang Ho
,
Kim, Chang-Koo
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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Comparison of deep silicon etching using SF 6 / C 4 F 8 and SF 6 / C 4 F 6 plasmas in the Bosch process
von
Rhee, Hyongmoo
,
Kwon, Hyeokkyu
,
Kim, Chang-Koo
,
Kim, HyunJung
,
Yoo, Jaisuk
,
Kim, Yil Wook
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
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Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement, And Phenomena
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