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    Local strain measurements in shallow trench insulator structures using near-ultraviolet Raman spectroscopy: Simulation and experiment

    Local strain measurements in shallow trench insulator structures using near-ultraviolet Raman spectroscopy: Simulation and experiment von Latu-Romain, Eddy, Mermoux, Michel, Crisci, Alexandre, Delille, Dominique, Kwakman, Laurens F. Tz

    Veröffentlicht in Journal of applied physics

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