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Thin-film ceramic electrolytes deposited on porous and non-porous substrates by sol-gel techniques
von
Kueper, Timothy W.
,
Visco, Steven J.
,
De Jonghe, L.C.
Veröffentlicht in
Solid state ionics
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Reflective coating for electrostatic chucks
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Kueper, Timothy W
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Reflective coating for electrostatic chucks
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ELECTROSTATIC CHUCK ASSEMBLY WITH CAPACITIVE SENSE FEATURE, AND RELATED OPERATING METHOD
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LAM JIMMY
,
KILGORE MICHAEL
,
ONATE JAIME
,
YE DAN
,
KUEPER TIMOTHY W
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ELECTROSTATIC CHUCK ASSEMBLY WITH CAPACITIVE SENSE FEATURE, AND RELATED OPERATING METHOD
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ONATE, JAIME
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Electrostatic chuck assembly with capacitive sense feature, and related operating method
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Onate, Jaime
,
Kilgore, Michael
,
Lam, Jimmy
,
Kueper, Timothy W
,
Ye, Dan
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,
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ONATE JAIME
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YE DAN
,
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,
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ELECTROSTATIC CHUCK ASSEMBLY WITH CAPACITIVE SENSE FEATURE, AND RELATED OPERATING METHOD
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