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Single-crystal silicon micromirror array with polysilicon flexures
von
Kudrle, T.D.
,
Wang, C.C.
,
Bancu, M.G.
,
Hsiao, J.C.
,
Pareek, A.
,
Waelti, M.
,
Kirkos, G.A.
,
Shone, T.
,
Fung, C.D.
,
Mastrangelo, C.H.
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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Transmission line structures for use as phase shifters and switches
von
Kudrle, Thomas D
,
Neves, Hercules P
,
Rodger, Damien C
,
MacDonald, Noel C
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Transmission line structures for use as phase shifters and switches
von
MACDONALD NOEL C
,
RODGER DAMIEN C
,
KUDRLE THOMAS D
,
NEVES HERCULES P
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MACDONALD NOEL C
,
RODGER DAMIEN C
,
KUDRLE THOMAS D
,
NEVES HERCULES P
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Esp@Cenet
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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