Emissivity of freestanding membranes with thin metal coatings von van Zwol, P. J., Vles, D. F., Voorthuijzen, W. P., Péter, M., Vermeulen, H., van der Zande, W. J., Sturm, J. M., van de Kruijs, R. W. E., Bijkerk, F.

Volltext

Combined EUV reflectance and X-ray reflectivity data analysis of periodic multilayer structures von Yakunin, S N, Makhotkin, I A, Nikolaev, K V, van de Kruijs, R W E, Chuev, M A, Bijkerk, F

Volltext

Grazing‐incidence small‐angle X‐ray scattering study of correlated lateral density fluctuations in W/Si multilayers von Nikolaev, K. V., Yakunin, S. N., Makhotkin, I. A., Rie, J. de la, Medvedev, R. V., Rogachev, A. V., Trunckin, I. N., Vasiliev, A. L., Hendrikx, C. P., Gateshki, M., Kruijs, R. W. E. van de, Bijkerk, F.

Volltext

High-reflectance La/B-based multilayer mirror for 6.x  nm wavelength von Kuznetsov, D S, Yakshin, A E, Sturm, J M, van de Kruijs, R W E, Louis, E, Bijkerk, F

Volltext

Strengthening ultrathin Si3N4 membranes by compressive surface stress von Shafikov, A., Schurink, B., van de Kruijs, R.W.E., Benschop, J., van den Beld, W.T.E., Houweling, Z.S., Bijkerk, F.

Volltext

In-situ studies of silicide formation during growth of molybdenum-silicon interfaces von Reinink, J., Zameshin, A., van de Kruijs, R. W. E., Bijkerk, F.

Volltext

A semi‐analytical approach for the characterization of ordered 3D nanostructures using grazing‐incidence X‐ray fluorescence von Nikolaev, K. V., Soltwisch, V., Hönicke, P., Scholze, F., de la Rie, J., Yakunin, S. N., Makhotkin, I. A., van de Kruijs, R. W. E., Bijkerk, F.

Volltext

Surface and sub-surface thermal oxidation of thin ruthenium films von Coloma Ribera, R., van de Kruijs, R. W. E., Kokke, S., Zoethout, E., Yakshin, A. E., Bijkerk, F.

Volltext

Self-contained in-vacuum in situ thin film stress measurement tool von Reinink, J., van de Kruijs, R. W. E., Bijkerk, F.

Volltext

Specular reflection intensity modulated by grazing‐incidence diffraction in a wide angular range von Nikolaev, K. V., Makhotkin, I. A., Yakunin, S. N., Kruijs, R. W. E. van de, Chuev, M. A., Bijkerk, F.

Volltext

Determination of oxygen diffusion kinetics during thin film ruthenium oxidation von Coloma Ribera, R., van de Kruijs, R. W. E., Yakshin, A. E., Bijkerk, F.

Volltext

Hydrogenation dynamics of Ru capped Y thin films von Soroka, O., Sturm, J. M., van de Kruijs, R. W. E., Makhotkin, I. A., Nikolaev, K., Yakunin, S. N., Lee, C. J., Bijkerk, F.

Volltext

In vacuo growth studies of Ru thin films on Si, SiN, and SiO2 by high-sensitivity low energy ion scattering von Coloma Ribera, R., van de Kruijs, R. W. E., Sturm, J. M., Yakshin, A. E., Bijkerk, F.

Volltext

Intermixing and thermal oxidation of ZrO2 thin films grown on a-Si, SiN, and SiO2 by metallic and oxidic mode magnetron sputtering von Coloma Ribera, R., van de Kruijs, R. W. E., Sturm, J. M., Yakshin, A. E., Bijkerk, F.

Volltext

Self-healing in B12P2 through Mediated Defect Recombination von Huber, S. P, Gullikson, E, Frye, C. D, Edgar, J. H, van de Kruijs, R. W. E, Bijkerk, F, Prendergast, D

Volltext

Relation between composition and fracture strength in off-stoichiometric metal silicide free-standing membranes von Shafikov, A., van de Kruijs, R.W.E., Benschop, J.P.H., Schurink, B., van den Beld, W.T.E., Houweling, Z.S., Kooi, B.J., Ahmadi, M., de Graaf, S., Bijkerk, F.

Volltext

Anisotropy of heat conduction in Mo/Si multilayers von Medvedev, V. V., Yang, J., Schmidt, A. J., Yakshin, A. E., van de Kruijs, R. W. E., Zoethout, E., Bijkerk, F.

Volltext

Electronegativity-dependent tin etching from thin films von Pachecka, M., Sturm, J. M., van de Kruijs, R. W. E., Lee, C. J., Bijkerk, F.

Volltext

Multilayer mirror with enhanced spectral selectivity for the next generation extreme ultraviolet lithography von Medvedev, V. V., van de Kruijs, R. W. E., Yakshin, A. E., Novikova, N. N., Krivtsun, V. M., Louis, E., Yakunin, A. M., Bijkerk, F.

Volltext

Determining crystal phase purity in c-BP through X-ray absorption spectroscopy von Huber, S P, Medvedev, V V, Gullikson, E, Padavala, B, Edgar, J H, van de Kruijs, R W E, Bijkerk, F, Prendergast, D

Volltext