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1
Precipitation Enhancement of "so Called" Defect-Free Czochralski Silicon Material
von
Kissinger, G.
,
Krottenthaler, P.
,
Seuring, C.
,
Müller, Timo
,
Wahlich, R.
,
von Ammon, Wilfried
Veröffentlicht in
Solid state phenomena
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2
Mechanical strength of 300 mm diameter silicon wafers at high temperatures: modeling and simulation
von
Fischer, A.
,
Grabolla, Th
,
Richter, H.
,
Obermeier, G.
,
Krottenthaler, P.
,
Wahlich, R.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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Artikel
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3
Modeling and experimental verification of the 300mm Ar anneal process
von
Müller, T.
,
Wahlich, R.
,
Krottenthaler, P.
,
Studener, J.
,
Kühhorn, A.
,
Ammon, W.v.
Veröffentlicht in
Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology
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Gettering And Defect Engineering In Semiconductor Technology Xi
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Materials Science & Engineering. B, Solid-State Materials For Advanced Technology
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Proquest Central Uk/Ireland
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Proquest Central
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Proquest One Community College
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Scientific.net Journals
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