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INTEGRATED CIRCUIT CAPACITOR MANUFACTURING PROCESS
von
Voronin S.I
,
Krasnitskij V.Ja
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2
MIS TRANSISTOR MANUFACTURING PROCESS
von
Dovnar N.A
,
Krasnitskij V.Ja
,
Smal' I.V
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3
IGFET
von
Dovnar N.A
,
Krasnitskij V.Ja
,
Smal' I.V
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4
PROCESS OF FORMATION OF SILICON DIOXIDE FILMS
von
Krasnitskij V.Ja
,
Kozlov A.L
,
Dudarchik A.I
,
Turtsevich A.S
,
Kabakov M.M
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5
GAS MIXTURE FOR SELECTIVE DRY ETCHING OF INSULATING LAYERS
von
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Klimenkov V.V
,
Tsybul'ko I.A
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6
INTERELEMENT CONNECTIONS OF INTEGRATED CIRCUITS
von
Dovnar N.A
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Khimko G.A
,
Vasilevich V.P
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7
METHOD FOR PRODUCING CAPACITOR PLATE FROM POLYCRYSTALLINE SILICON
von
Nalivajko O.Ju
,
Dovnar N.A
,
Bajanov A.S
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Rodin G.F
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8
METHOD FOR GENERATION OF INTER-GATE CONNECTIONS IN INTEGRAL CIRCUITS
von
Dovnar N.A
,
Buljak B.N
,
Kastritskij L.V
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Khimko G.A
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9
METHOD FOR PRODUCING STORAGE CAPACITOR PLATE FOR MEMORY ELEMENTS OF INTEGRATED CIRCUITS
von
Nalivajko O.Ju
,
Dovnar N.A
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Rodin G.F
,
Smal' I.V
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10
DEVICE FOR CHEMICAL DEPOSITION OF FILMS FROM GAS PHASE
von
Petrashkevich V.F
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Kisel' L.I
,
Sakhon V.M
,
Shkut A.M
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11
METHOD OF SILICON DIOXIDE FILM FORMATION
von
Viskup A.P
,
Krasnitskij V.Ja
,
Kozlov A.L
,
Petrovich N.P
,
Turtsevich A.S
,
Kabakov M.M
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12
MATERIAL OF CONTACT-BARRIER UNDERLAYER FOR INTERELEMENT CONNECTIONS
von
Kaloshkin Eh.P
,
Dovnar N.A
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Semenov L.G
,
Rodin G.F
,
Dulinets Ju.Ch
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13
VAPOUR AND GAS MIXTURE FOR PRECIPITATION OF WOLFRAM ON SILICON
von
Andreev P.E
,
Krasnitskij V.Ja
,
Turtsevich A.S
,
Trubinova T.N
,
Sarychev O.Eh
,
Sasnovskij V.A
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14
PROCESS OF PLASMA-CHEMICAL PRECIPITATION OF FILMS OF PHOSPHOROUS-SODA-LIME GLASS
von
Kastritskij L.V
,
Krasnitskij V.Ja
,
Kozlov A.L
,
Turtsevich A.S
,
Khimko G.A
,
Koreshkov G.A
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Coating Metallic Material
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Esp@Cenet
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