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Roughness-generation mechanism of Ru etching using Cl2/O2-based plasma for advanced interconnect
von
Matsui, Miyako
,
Ishii, Yohei
,
Kovatch, Lucas
,
Maier, Kathryn
,
Imai, Masaya
,
Miura, Makoto
,
Kuwahara, Kenichi
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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Building Ion-Conduction Highways in Polymeric Electrolytes by Manipulating Protein Configuration
von
Fu, Xuewei
,
Li, Chunhui
,
Wang, Yu
,
Kovatch, Lucas Paul
,
Scudiero, Louis
,
Liu, Jin
,
Zhong, Weihong
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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