Atomic layer deposition of WxN/TiN and WNxCy/TiN nanolaminates von ELERS, K.-E, SAANILA, V, LI, W.-M, SOININEN, P. J, KOSTAMO, J. T, HAUKKA, S, JUHANOJA, J, BESTING, W. F. A

Volltext

Diffusion Barrier Deposition on a Copper Surface by Atomic Layer Deposition von Elers, K.-E., Saanila, V., Soininen, P. J., Li, W.-M., Kostamo, J. T., Haukka, S., Juhanoja, J., Besling, W. F. A.

Volltext

Atomic layer deposition of W xN/TiN and WN xC y/TiN nanolaminates von Elers, K.-E., Saanila, V., Li, W.-M., Soininen, P.J., Kostamo, J.T., Haukka, S., Juhanoja, J., Besling, W.F.A.

Volltext

Seed layer formation von KOSTAMO JUHANA J.T, LEINIKKA MIIKA

Volltext bestellen