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Effects of the Substrate on Piezoresistive Properties of Silicon Carbide Thin Films
von
Fraga, Mariana A.
,
Furlan, Humber
,
Rasia, Luiz A.
,
Koberstein, Leandro L.
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ECS transactions
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Study on the Correlation between Film Composition and Piezoresistive Properties of PECVD SixCy Thin Films
von
Koberstein, Leandro L.
,
Fraga, Mariana A.
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Study on the Correlation between Film Composition and Piezoresistive Properties of PECVD Si sub(x)C sub(y) Thin Films
von
Fraga, Mariana A
,
Koberstein, Leandro L
Veröffentlicht in
Materials science forum
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