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A High-Performance MEMS Capacitive Strain Sensing System
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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A high-performance MEMS capacitive strain sensing system
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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High-temperature single-crystal 3C-SiC capacitive pressure sensor
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Touch mode capacitive pressure sensors
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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A fiber-optic reflective displacement micrometer
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Silicon-carbide MESFET-based 400°C MEMS sensing and data telemetry
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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