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    Alkene based monolayer films as anti-stiction coatings for polysilicon MEMS

    Alkene based monolayer films as anti-stiction coatings for polysilicon MEMS von Ashurst, W.Robert, Yau, Christina, Carraro, Carlo, Lee, Christina, Kluth, G.Jonathan, Howe, Roger T., Maboudian, Roya


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