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High speed scanning electron beam annealing of ion-implanted silicon layers
Veröffentlicht in Thin solid films
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Utilization of Ag:GeSe2 films as inorganic positive resist
Veröffentlicht in Physica status solidi. A, Applied research
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Growth of monocrystalline silicon islands on insulating substrates
Veröffentlicht in Thin solid films
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Recoil implantation from thin surface films on silicon
Veröffentlicht in Radiation effects
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