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    Substrate and annealing temperature dependent electrical resistivity of sputtered titanium nitride thin films

    Substrate and annealing temperature dependent electrical resistivity of sputtered titanium nitride thin films von Kearney, B.T., Jugdersuren, B., Culbertson, J.C., Desario, P.A., Liu, Xiao

    Veröffentlicht in Thin solid films

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