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Direct charge measurements to read back stored data in nonvolatile memory devices using scanning capacitance microscopy
von
Dhar, Rudra Sankar
,
Dixon-Warren, St. John
,
Campbell, Jeff
,
Kawaliye, Mohamed Abdi
,
Green, Mike
,
Ban, Dayan
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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