Quantifying the Impact of Al Deposition Method on Underlying Al2O3/Si Interface Quality von Mack, Iris, Kawa Rosta, Quliyeva, Ulviyya, Ott, Jennifer, Pasanen, Toni P, Vähänissi, Ville, Zahra Sadat Jahanshah Rad, Juha-Pekka Lehtiö, Laukkanen, Pekka, Soldano, Caterina, Savin, Hele

Volltext

Quantifying the Impact of Al Deposition Method on Underlying Al 2 O 3 /Si Interface Quality von Mack, Iris, Rosta, Kawa, Quliyeva, Ulviyya, Ott, Jennifer, Pasanen, Toni P., Vähänissi, Ville, Jahanshah Rad, Zahra Sadat, Lehtiö, Juha-Pekka, Laukkanen, Pekka, Soldano, Caterina, Savin, Hele

Volltext

Impact of doping and silicon substrate resistivity on the blistering of atomic-layer-deposited aluminium oxide von Ott, Jennifer, Pasanen, Toni P., Gädda, Akiko, Garín, Moisés, Rosta, Kawa, Vähänissi, Ville, Savin, Hele

Volltext

Decreasing Interface Defect Densities via Silicon Oxide Passivation at Temperatures Below 450 °C von Rad, Zahra Jahanshah, Lehtiö, Juha-Pekka, Mack, Iris, Rosta, Kawa, Chen, Kexun, Vähänissi, Ville, Punkkinen, Marko, Punkkinen, Risto, Hedman, Hannu-Pekka, Pavlov, Andrei, Kuzmin, Mikhail, Savin, Hele, Laukkanen, Pekka, Kokko, Kalevi

Volltext