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Mo/Al/Mo/Au-based ohmic contacts to AlGaN/GaN heterostructures
von
Kondakov, M. N.
,
Chernykh, S. V.
,
Chernykh, A. V.
,
Gladysheva, N. B.
,
Dorofeev, A. A.
,
Didenko, S. I.
,
Shcherbachev, K. D.
,
Tabachkova, N. Yu
,
Kaprov, D. B.
Veröffentlicht in
Russian microelectronics
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