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    Atomic layer deposition of hafnium-based high-k dielectric

    Atomic layer deposition of hafnium-based high-k dielectric von Lee, Sang-In, Owyang, Jon S, Senzaki, Yoshihide, Helms, Jr, Aubrey L, Kapkin, Karem

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    Atomic layer deposition of hafnium-based high-k dielectric

    Atomic layer deposition of hafnium-based high-k dielectric von OWYANG JON S, SENZAKI YOSHIHIDE, KAPKIN KAREM, LEE SANG-IN, HELMS, JR. AUBREY L

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