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ミニマルファブのための小型HiPIMS型スパッタ成膜装置の開発
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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Development of Miniature Sputtering Deposition Equipment for Minimal Fab with HiPIMS Operations
Veröffentlicht in Shinkū
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Formation of TiN Films Using Minimal Sputtering Tool
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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A Study of Al Wiring and Al Gate with A Minimal Sputtering Tool
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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