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METHOD FOR PREPARING SEMICONDUCTOR STRUCTURES AND DEVICES WHICH UTILIZE TRENCHES FILLED WITH POLYMERIC DIELETRIC MATERIALS
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KANDETZKE, STEVEN M
,
KUTNER, ELLEN LOIS
,
ARAPS, CONSTANCE JOAN
,
TAKACS, MARK ANTHONY
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KANDETZKE, STEVEN M
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KUTNER, ELLEN LOIS
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ARAPS, CONSTANCE JOAN
,
TAKACS, MARK ANTHONY
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Method for preparing semiconductor structures and devices which utilize trenches filled with polymeric dieletric materials
von
KANDETZKE, STEVEN M
,
KUTNER, ELLEN LOIS
,
ARAPS, CONSTANCE JOAN
,
TAKACS, MARK ANTHONY
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Esp@Cenet
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