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SEMICONDUCTOR SANDWICH-STRUCTURE 3C-SiC/Si, METHOD OF ITS PRODUCION AND MEMBRANE-TYPE SENSITIVE ELEMENT INCORPORATING SAID STRUCTURE
von
PETROV ALEKSANDR SERGEEVICH
,
MATUZOV ANTON VIKTOROVICH
,
AFANAS'EV ALEKSEJ VALENTINOVICH
,
LUCHININ VIKTOR VIKTOROVICH
,
IL'IN VLADIMIR ALEKSEEVICH
,
LOGINOV BORIS BORISOVICH
,
KRIVOSHEEVA ALEKSANDRA NIKOLAEVNA
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