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    METHOD FOR THE PREPARATION OF POROUS SILICON-CARBONITRIDE FILMS

    METHOD FOR THE PREPARATION OF POROUS SILICON-CARBONITRIDE FILMS von MARINOVA, TSVETANA S, VELCHEV, NIKOLAJ B, DIMITROV, DIMITAR B, KRASTEV, VESELIN J, GEORGIEV, STEFAN S, BESHKOV, GEORGI D

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