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High performance SiGe:C HBTs using atomic layer base doping
Veröffentlicht in Applied surface science
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Deconvolution of narrow boron SIMS depth profiles in Si and SiGe
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Characterization of Ge gradients in SiGe HBTs by AES depth profile simulation
Veröffentlicht in Applied surface science
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