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    Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers

    Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers von RUPRECHT, R, KALB, H, KOWANZ, B, BACHER, W


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    Molding of three dimensional microstructures by the LIGA process

    Molding of three dimensional microstructures by the LIGA process von Harmening, M., Bacher, W., Bley, P., El-Kholi, A., Kalb, H., Kowanz, B., Menz, W., Michel, A., Mohr, J.

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    Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers

    Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers von Ruprecht, R., Kalb, H., Kowanz, B., Bacher, W.


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