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    CAP FOR VERTICAL DIFFUSING FURNACE

    CAP FOR VERTICAL DIFFUSING FURNACE von KOU KAKUSHIYUN, MINAMI MOTOYOSHI, KAN GOEN, KIN YUUKEN

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    GAS INLET PORT MEMBER OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS

    GAS INLET PORT MEMBER OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS von RI NANSHIN, KOU KAKUSHIYUN, KEN SEIKAN, SAI SOUKOKU

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    BOAT INTO WHICH WAFER IS LOADED

    BOAT INTO WHICH WAFER IS LOADED von KOU KAKUSHIYUN, JIYO JIYUNSAI, SAI SOUKOKU, YASU GANSHIYOKU

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