Suchergebnisse - KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT | OPAC THWS

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Reducing fast ions in a plasma radiation source von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Plasma radiation source with axial magnetic field von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Radiation source, lithographic apparatus, and device manufacturing method von LOOPSTRA, ERIK ROELOF, IVANOV, VLADIMIR VITAL'EVITCH, BANINE, VADIM YEVGENYEVICH, KIEFT, ERIK RENE, KOSHELEV, KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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RADIATION SOURCE FOR LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS von FIEDOROWICZ HENRYK, BARTNIK ANDRZEJ, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, BIJKERK FREDERIK, DE BRUIJN CORNELIS C, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Plasma radiation source with axial magnetic field von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Reducing fast ions in a plasma radiation source von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of lithographic apparatus von RAKHIMOVA TATYANA VICTOROVNA,BANINE VADIM YEVGENYEVICH,IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH,KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT,MOORS JOHANNES HUBERTUS JOSEPH,KOVALEV ALEKSANDER SERGEEVICH,LOPAEV DMITRIY VICTOROVIC

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Radiation system and lithographic apparatus von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KLUNDER DERK JAN WILFRED, VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Radiation system and lithographic apparatus von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, SOER WOUTER ANTHON, WASSINK ARNOUD CORNELIS, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KLUNDER DERK JAN WILFRED, GLUSHKOV DENIS, KRIVTSUN VLADIMIR MIHAILOVITCH, VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOH, BROM PAUL PETER ANNA ANTONIUS, CADEE THEODORUS PETRUS MARIA, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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IRRADIATION SOURCE FOR FLAT PROJECTOR von FIEDOROWICZ HENRYK, BARTNIK ANDRZEJ, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, BIJKERK FREDERIK, DE BRUIJN CORNELIS C, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Radiation system and lithographic apparatus von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KLUNDER DERK JAN WILFRED, VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Radiation system and lithographic apparatus von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, SOER WOUTER ANTHON, WASSINK ARNOUD CORNELIS, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, KLUNDER DERK JAN WILFRED, GLUSHKOV DENIS, KRIVTSUN VLADIMIR MIHAILOVITCH, VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOH, BROM PAUL PETER ANNA ANTONIUS, CADEE THEODORUS PETRUS MARIA, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of lithographic apparatus von IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH, KOVALEV ALEKSANDER SERGEEVICH, BANINE VADIM YEVGENYEVICH, RAKHIMOVA TATYANA VICTOROVNA, LOPAEV DMITRIY VICTOROVICH, MOORS JOHANNES HUBERTUS JOSEPH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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Radiation source, photoetching equipment and device manufacturing method von BANINE VADIM YEVGENYEVICH, IVANOV VLADIMIR VITAL EVITCH, KOROB EVGENIL DMITREEVITCH, ANTSIFEROV PAVEL STANISLAVOVIC, ZUKAVISHVILI GIVI GEORGIEVITCH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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RADIATION SOURCE LITHOGRAPHIC APPARATUS DEVICE MANUFACTURING METHOD AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY von IVANOV VLADIMIR VITAL EVITCH, BIJKERK FREDERIK, KOROP EVGENII DMITREEVITCH, ZUKAVISHVILI GIVI GEORGIEVITCH, KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVIT

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