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Chloride-Based CVD Growth of Silicon Carbide for Electronic Applications
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Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide
Veröffentlicht in Crystal growth & design
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Brominated Chemistry for Chemical Vapor Deposition of Electronic Grade SiC
Veröffentlicht in Chemistry of materials
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SiC epitaxy growth using chloride-based CVD
Veröffentlicht in Physica. B, Condensed matter
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