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HIGH TEMPERATURE BIASABLE HEATER WITH ADVANCED FAR EDGE ELECTRODE, ELECTROSTATIC CHUCK, AND EMBEDDED GROUND ELECTRODE
von
KORA SIDDARAMAIAH, Onkara Swamy
,
PISHARODY, Gautam
,
LIANG, Qiwei
,
BUCHBERGER, Jr., Douglas A
,
PARKHE, Vijay D
,
LUBOMIRSKY, Dmitry
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HIGH TEMPERATURE BIASABLE HEATER WITH ADVANCED FAR EDGE ELECTRODE, ELECTROSTATIC CHUCK, AND EMBEDDED GROUND ELECTRODE
von
KORA SIDDARAMAIAH, Onkara Swamy
,
PISHARODY, Gautam
,
LIANG, Qiwei
,
PARKHE, Vijay D
,
LUBOMIRSKY, Dmitry
,
BUCHBERGER, JR
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3
EXTREME UNIFORMITY HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY
von
KORA SIDDARAMAIAH, Onkara Swamy
,
BENJAMINSON, David
,
SAMIR, Mehmet Tugrul
,
PARKHE, Vijay D
,
LUBOMIRSKY, Dmitry
,
WANG, Justin
,
FLOYD, Kirby H
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4
EXTREME UNIFORMITY HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY
von
KORA SIDDARAMAIAH, Onkara Swamy
,
BENJAMINSON, David
,
SAMIR, Mehmet Tugrul
,
PARKHE, Vijay D
,
LUBOMIRSKY, Dmitry
,
WANG, Justin
,
FLOYD, Kirby H
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5
EXTREME UNIFORMITY HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY
von
LUBOMIRSKY DMITRY
,
FLOYD KIRBY H
,
SAMIR MEHMET TUGRUL
,
WANG JUSTIN
,
PARKHE VIJAY D
,
KORA SIDDARAMAIAH ONKARA SWAMY
,
BENJAMINSON DAVID
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6
EXTREME UNIFORMITY HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY
von
LUBOMIRSKY DMITRY
,
FLOYD KIRBY H
,
SAMIR MEHMET TUGRUL
,
WANG JUSTIN
,
PARKHE VIJAY D
,
KORA SIDDARAMAIAH ONKARA SWAMY
,
BENJAMINSON DAVID
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7
극도의 균일성의 가열식 기판 지지 조립체
von
LUBOMIRSKY DMITRY
,
FLOYD KIRBY H
,
SAMIR MEHMET TUGRUL
,
WANG JUSTIN
,
PARKHE VIJAY D
,
KORA SIDDARAMAIAH ONKARA SWAMY
,
BENJAMINSON DAVID
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8
Extreme uniformity heated substrate support assembly
von
LUBOMIRSKY, DMITRY
,
BENJAMINSON, DAVID
,
SAMIR, MEHMET TUGRUL
,
PARKHE, VIJAY D
,
FLOYD, KIRBY H
,
WANG, JUSTIN
,
KORA SIDDARAMAIAH, ONKARA SWAMY
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Extreme uniformity heated substrate support assembly
von
LUBOMIRSKY, DMITRY
,
BENJAMINSON, DAVID
,
SAMIR, MEHMET TUGRUL
,
PARKHE, VIJAY D
,
FLOYD, KIRBY H
,
WANG, JUSTIN
,
KORA SIDDARAMAIAH, ONKARA SWAMY
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